第二百八十四章 技術路線

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媒體總是喜歡給枯燥無味的技術突破透過各種具有象徵性意義的關鍵節點進行概括，浸沒法就是後世晶片技術發展中經常被提起的關鍵節點。

在此之前還屬於業內追趕者地位的ASML藉助浸沒式光刻機成功實現了技術上的反超，並且反超之後再也沒有被其他廠商超越過。

回到2003年的時間節點，沒有被林本堅極力堅持下，ASML沒有考慮浸沒式的路線，而是繼續堅持之前的乾式光刻機的研發。

和後世相同的點在於，有阿美利肯資本主導，ASML、臺積電和英特爾這三家廠商聯合在了一起，推動光刻機的研發，缺少林本堅這一靈魂人物，他們的技術路線依然是乾式光刻機。

周新在回華國的飛行途中，對於這個問題進行了深度的思考。

浸沒式光刻機從技術上來說只是簡單的一句話，但是落地中間實際上還是有大量的技術研發工作要做，並不是說我加一層液體在中間這麼簡單。

從乾式光刻機到浸沒式光刻機是技術路線的掉頭，新芯完全可以成為這一技術路線的先行者。

做先行者，做出成績來之後確實會被同行學習你的先進經驗，浸沒式光刻機的技術路線被證實後，大家都會朝這個方向走。

新芯光刻機的技術優勢無法保持太長時間，但是先行者的好處也很明顯，那就是可以擁有在浸沒式光刻機中間的部分關鍵專利。

掌握關鍵專利，一是可以靠關鍵專利收費，二是在未來這是鉗制海外試圖把華國企業從晶片產業鏈中踢出去的利器。

華國企業在晶片先進製程上下游掌握的不可替代關鍵專利越多，未來主動權越大。

這層膜遲早會被揭開，與其等別人來揭示不如自己利用它換成握在手裡的優勢。

周新想好之後，在張江高新園區屬於新芯的整片辦公區裡找到了林本堅。

新芯或者說周新全球晶片產業的核心就放在申海，因此申海在各類資源上對張江的傾斜可以說是非常明顯。

在那個年代，戶口是有指標的，即便是大型央企想要落戶申海，也是有指標限制的，新員工需要入職滿多少年才能排到，但是新芯每年的指標可以說是沒有限制，即便是基層員工最多等兩年就能輪到。

申海關於落戶一直要到2021年才陸續放開，985碩士或者申海本地的985本科就能直接落戶申海，屬於是把門檻降到比燕京低了一個檔次。

對於華國人來說，戶口關聯著養老、醫療、教育等多個因素，申海能在這方面給予新芯這個力度的支援，更別提在土地、水電、金融等領域的支援了。

老實說申海的地方銀行和金融類企業很想放款給新芯科技，問題是新芯科技這方面的需求不大。

至於土地方面，正是因為新芯在張江，幫助張江片區的房價幾乎是每年一個樣，每年上一個臺階。當下地方政府已經開始依賴土地收入了。

更別提新芯在張江帶動的上下游產業鏈，創造的就業崗位了，因此張江直接批了一整塊地給新芯，新芯相當於在張江高科技園區的範圍裡建了自己的產業園。

這塊產業園目前不僅新芯自己在用，同時還把部分閒置的區域租給了其他晶片公司。

“林叔，我認為浸潤法會是一個可行的技術路線，和現在的乾式光刻機相比，在曝光區域和光刻機透鏡之間充滿水，可以利用折射讓光源的波長更短。”

經過這三年的一起工作，周新和林本堅之間建立了充分的信任基礎，因此像這種技術機密他能直接告訴對方。

信任基礎是一方面，另外雙方的利益透過新芯半導體高度繫結又是另一方面，周新不僅給了林本堅新芯光刻機的股份，還考慮到新芯光刻機在短期很難創造效益，甚至因為阿美利肯的打壓長期都無法創造效益，因此除了新芯光刻機股份之外，還給了對方新芯科技晶片代工這一板塊的期權。

這是臺積電絕對開不出的待遇。

林本堅聽完後說：“我本來也打算和你說我的想法，我正打算和新芯光刻機的同事們一起寫幾篇論文發給你，說服你選擇浸沒式，好吧你叫浸沒式，其實我們打算叫它溼法光刻機。”

是的，林本堅也打算在新芯光刻機130nm製程工藝的光刻機上採取浸沒式的技術路線。

周新聽完後倒也沒有特別驚訝，作為光學領域的頂級牛人，林本堅能想到溼法並不奇怪，周新問起另一個問題：“為什麼要爭取我的同意？

之前我們在溝通要做光刻機這件事的時候，不就說好了，我不會干預新芯光刻機的經營，經營全權交給你嗎？”

林本堅點頭：“之前我們確實是這樣溝通的，但是現在情況又不一樣，要走溼法光刻機的路線，是在和全世界為敵。

我們需要說服光刻機各種元器件的供應商，尤其是蔡司，和我們配合，我們做過溼法光刻機的預研究工作。

和乾式光刻機相比，我們需要改變鏡頭組，之前的透鏡組合可能無法滿足我們的需要。

中間還涉及大量的技術性工作，比如說水放進去之後空氣可能會產生氣泡，水必須非常均勻，但是實際上會有光照到水上，光照到水上會產生溫差，溫差就會導致水不均勻。水不均勻會進一步影響到成像。

中間有大量技術性工作要做，新芯光刻機的體量太小，過去的時間裡業內在乾式光刻機領域投入了超過十億美元的研發費用，我們現在相當於完全另起爐灶。

溼法光刻機是否真的能達到我們預期的效果，我不確定。

這是賭上新芯光刻機的命運。”林本堅眼神中展露出從未有過的認真。

這麼說，這條技術路線賭贏了，手握大量技術專利，即便再透過瓦森納協定卡脖子，一來可以出售專利給其他光刻機公司，然後繼續在這一技術路線上繼續研發，積累技術優勢，構建自己的專利牆。

二來其他公司到時候做轉向的時候，ASML、佳能、尼康處於同一起跑線，ASML不會那麼快形成壟斷，新芯光刻機能買到一些技術。

周新聽完後想起原時空中林本堅在臺積電工作的時候堅持要走浸沒式光刻機路線，也沒有聽說當時林本堅經歷過如此激烈的內心鬥爭啊。

周新再一思考，覺得是因為之前屬於是幫臺積電打工，自己無論乾的怎麼樣拿的都差不多，自然會有學術上的堅持，賭性會更強，輸了自己的損失有限。

現在新芯光刻機也有他的一份，技術路線一旦選錯，失去的時間可再也回不來，損失是自己的。

周新在思考，林本堅見對方不說話，繼續說：“其實我一直很猶豫，因為乾式光刻機大家都在走這條路，業內的同行業公司他們都是研發乾式光刻機。

沒有誰考慮過溼法光刻機，一來是因為溼法光刻機是一個很冷門的技術路線，麻省理工學院林肯實驗室的斯威特克斯和羅斯柴爾德兩位研究員做過類似的研究，他們嘗試過各種液體，都不太合適。”

周新打斷道：“要用水，水的折射率是最合適的，只有水可以。”

林本堅鼓掌：“不愧是Newman，在一切事物上都是如此敏銳，沒錯我們也發現水才是最合適的。

因為水是半導體生產中要用到的大量液體，不存在接受度的問題。

而且我們在做預研究的時候測過水的折射率，1.46，這個折射率很合適，現在193奈米的波長透過水折射之後可以變成132奈米，直接跳過了157奈米，避開了這個困難，這真是上天的奇妙安排。”

為什麼說157奈米是困難的，因為波長在193奈米的時候，光刻機鏡頭的孔徑已經做到了0.93，這一技術的極限就是90奈米制程，要想更進一步，光源必須要更短的波長。

而業內找到的波長為157奈米的光，存在很多問題，穿透率低，只有很少可用的介質，比如說單結晶的二氟化鈣，這種材料去做鏡頭的問題在於很難製造20-30公分大小的完美結晶。

還有像空氣中的氧氣會吸收157奈米的光，光經過的整個路徑必須只有氮氣，造成很多不便，會增加製造的成本，而且一旦出現意外漏出太多氮氣會有致命危險。

157奈米的光存在非常多非常多要被克服的問題，林本堅則發現透過溼法可以不用換光源，作為基督徒的他愈發覺得這是上天的安排。

也正是因為他認為這是上天的安排，才想要賭上一把。

當然聽到周新幾乎是下意識說出水，林本堅內心感慨天才不愧是天才，有著野獸一般的直覺。

周新說：“我認為沒有問題，我會支援你的，這一技術路線你有沒有和外界透露過？”

林本堅搖頭：“目前還沒有，我不確定這一技術路線能行，另外裡面一些關鍵的技術專利我們要進行註冊，註冊之後在做嘗試的時候去爭取蔡司支援可能需要發表一些文章。”

周新問：“我們能不能儘可能低調，無論是蔡司還是其他廠商，我們可不可以透過錢來解決？

說白了我們開價，他們提供服務，比如說他們配合我們製造符合我們要求的元器件，我們開出更高的價格，新芯別的都缺，唯獨不缺錢。”

臺積電之所以會和ASML聯合，是因為飛利浦是臺積電的股東之一，ASML最早就是飛利浦的一個部門。

林本堅說：“我們可以說服蔡司，蔡司只認錢，只要我們開的價碼足夠高，我們想要什麼效果，他們就能做什麼效果出來。”

周新心想，還是這種只認錢的廠商好，因為我窮的只剩下錢了。

“好，因為我們在製程工藝上落後其他尼康佳能，我們要實現突破，必須儘可能低調。

我們肯定是沒辦法讓他們不知道，因為涉及到這麼多合作伙伴，但是在有階段性成果之前，不對外做任何宣傳。”

周新定下基調，林本堅點頭：“只是零星訊息的透露，他們是不可能改變技術路線的。

要知道像尼康已經在乾式光刻機上投入了7億美元的研發費用，他們要是改技術路線，等於7億美元打水漂了，股東不會放過尼康的研發部門和高管的。

即便尼康知道溼法光刻機是未來，他們也會硬著頭皮往乾式光刻機的路線上走下去，直到失敗。”

這就是霓虹企業的特性，包括後來的東電，非要真正發生核洩漏才承認，屬於是不撞南牆不回頭。

周新說：“還有ASML。”

林本堅說：“他們現在和臺積電深度合作，從體量上來說比我們大一些，但是大的有限。

他們技術上有優勢，我相信我們在溼法光刻機上突破之後我們能超越他們。

ASML也選擇的是乾式光刻機，或者說所有光刻機公司採取的技術路線都是乾式光刻機，沒有誰選擇溼法光刻機。

157奈米波長的光源雖然有著各種各樣的問題，但是這畢竟是延續過去一直以來的技術路線，和溼法光刻機這樣換架構還是有所不同。

雖然從預研究和我個人的直覺來說，我認為溼法光刻機的技術困難都是能克服的。

但是現實情況如何，我也不知道。

反而你同意我的觀點，加上一語點到水作為介質，讓我有信心得多。”

從某種意義上來說，相當於與世界為敵了，原時空裡林本堅下定決心要搞溼法光刻機之後，友商尼康甚至找到臺積電的總裁試圖阻止他們。

當然周新會堅持走這一技術路線，開天眼的好處就在於此，你永遠不會做出錯誤的戰略規劃。

但是也有問題，那就是走了這一技術路線，短期內無法從尼康那裡買到技術了。

周新說：“我的直覺告訴我，溼法光刻機是一定可行的，林叔，你大概預計一下我們現在開始把全部資源投入到溼法這一技術路線的研發中。

如果缺資金我另外再以個人名義融資，需要多久能完成樣品的研發？”

老實說ASML和臺積電的深度合作，作為兩家企業背後的大股東，飛利浦起到的作用至關重要。

現在沒了林本堅，光刻機技術依然會發展，只是技術發展的路線不一樣了。

(本章完)